化学铣削，也被称为化学轮廓加工（chemical contour machining），是一种利用化学蚀刻的方法，与机械轮廓加工一样完成金属轮廓加工的工艺方法。不同于穿透式的蚀刻，这一工艺的特征在于，蚀刻深度仅限于材料厚度的一部分，从而在整体上形成三维的形状。
化学铣削工序通常是按照【图1】所示的顺序进行。整个加工过程由预处理、遮罩、蚀刻、后处理4道工序构成。
要对材料的整个表面做蚀刻研磨时，无需进行遮罩操作，可立即开始蚀刻工序，而在阶梯式加工过程中，在最初的蚀刻之后，需要剥离其他部分的遮罩材料，然后再次进行蚀刻。根据需要，反复执行这一操作。
（1）遮罩
化学铣削中的遮罩方法包括（1）光刻胶遮罩法，（2）筛印或胶印，（3）划线-剥离法、（4）机械遮罩法等。
如前所述，光刻胶遮罩法的抗蚀剂图案极其精细且具有高精度，但抗蚀剂薄膜很薄，对强碱和氧化性较强的蚀刻剂的化学抗性较低，所以除非加工深度极浅，否则很少使用这一工艺。
筛印是基于丝网印刷技术，使用尼龙、聚酯等化学纤维或不锈钢等金属细丝制成丝网，在丝网上形成所需图案的翻转图案，并利用橡胶辊将抗腐蚀油墨压入丝网并从没有图案的部分穿过丝网，在材料表面形成油墨图案。
在划线-剥离法中，首先在材料的整个表面形成遮罩材料，然后将模板（template，按所需形状镂空的薄板）粘在上面，用锋利刀片沿着加工部分的边界线切割遮罩材料，将应加工部分的遮罩剥离使材料露出。
机械遮罩是将被称为遮罩板的柔性、耐腐蚀模板（橡胶板等）以机械手段贴合并固定在材料上，从而保护非加工区域，但由于其本身机制，这种方法只能用于加工简单的图案。
应根据精度及再现性、加工速度、经济性等要求，从上述4种方法中相应选择。
